【摘 要】
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2014年1月18,19同,由国家三部委(科技部、财政部、发改委)和北京市联合组织,02专项实施管理办公室牵头,对北京中科信公司承担的“90.65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目进行
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2014年1月18,19同,由国家三部委(科技部、财政部、发改委)和北京市联合组织,02专项实施管理办公室牵头,对北京中科信公司承担的“90.65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目进行验收,来自装备、工艺、集成电路制造、财务等领域的国家层面的专家和各级领导40余人参加了项目验收工作。
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