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论述了亚微米级超精密加工机床的主轴、直线导轨，进给与微量进给，隔振与恒温等关键部件的设计原理、实施方案及其在ＨＣＭ－１超精密加工机床中的应用。
超精密加工机床的关键部件技术
【摘 要】
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论述了亚微米级超精密加工机床的主轴、直线导轨，进给与微量进给，隔振与恒温等关键部件的设计原理、实施方案及其在ＨＣＭ－１超精密加工机床中的应用。
【机 构】
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哈尔滨工业大学精密工程研究所
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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1999年5期
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