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用射频溅射制备了一组厚度不同的ＮｉＳｉＢ非晶态薄膜。在不同温度下，用不同时间对薄膜进行了循环退火，实验测量了循环退火后的薄膜电阻随温度的变化，得到了可逆和不可逆两组曲线，厚度较大的薄膜，电阻随温度的增加而增大，厚度较小的薄膜，电阻随温度的增加而减小。
非晶态NiSiB薄膜电阻的弛豫
【摘 要】
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用射频溅射制备了一组厚度不同的ＮｉＳｉＢ非晶态薄膜。在不同温度下，用不同时间对薄膜进行了循环退火，实验测量了循环退火后的薄膜电阻随温度的变化，得到了可逆和不可逆两组曲线，厚度较大
【机 构】
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北京航空航天大学应用数理系
【出 处】
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北京航空航天大学学报
【发表日期】
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1998年1期
【基金项目】
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航空科学基金
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