【摘 要】
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本文简要介绍一种通用的加速度传感器和相应的利用硅工艺技术与混台集成电路技术研制出的一种小型化伺服电路.
This article briefly describes a general acceleration sen
【机 构】
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航空航天部骊山微电子学研究所 陕西 临潼
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本文简要介绍一种通用的加速度传感器和相应的利用硅工艺技术与混台集成电路技术研制出的一种小型化伺服电路.
This article briefly describes a general acceleration sensor and the corresponding use of silicon technology and hybrid Taiwan integrated circuit technology developed a miniaturized servo circuit.
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