一种快速准确获取真空氦质谱检漏系统反应时间的方法研究

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真空系统反应时间的准确获取对容器预抽真空、检漏信号读取、换气效率分析等有重要意义.本文分析了氦质谱检漏信号动态变化规律,运用最小二乘法线性回归原理,开展了检漏系统反应时间的获取方法研究,并通过编写软件实现了反应时间的快速获取,解决了在未知检漏系统体积与实际抽速的情况下,反应时间的获取问题.为进一步验证该方法的准确性,分别设计了不同体积的真空系统,开展了反应时间测量实验与研究,测得体积为6.19,11.61,19.88和40.78 L的真空系统反应时间分别为7.25,14.26,24.49,40.63 s,各线性相关系数均达到了0.99以上,数据重复性、线性度好,准确性高.研究表明,该方法可有效、快速、准确的获取反应时间,为检漏信号稳定时机的判断提供科学依据.
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