【摘 要】
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为研究电感耦合式射频离子源性能受离子束流、功率强度、工质流量和栅间电压的影响,以束流直径11 cm射频离子源为对象,完成了射频离子源点火起弧关键物理参数的设计和选择,设
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(61701209,11802111,61801201);甘肃省科技计划(18JR3RA412);中国航天科技集团有限公司自主研发项目资助
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为研究电感耦合式射频离子源性能受离子束流、功率强度、工质流量和栅间电压的影响,以束流直径11 cm射频离子源为对象,完成了射频离子源点火起弧关键物理参数的设计和选择,设计并搭建了电感耦合式射频离子源性能试验系统,通过试验研究了射频放电中离子束流、射频功率、工质流量、栅间电压之间的规律.结果表明:射频离子源试验系统设计合理,能够可靠稳定地工作,真空度低于1.0×10^-3 Pa的氩工质条件下离子束能量大范围独立可调,在100~1500 eV范围引出80~460 mA的离子束流,当工质流量一定时,离
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