【摘 要】
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微小的机械装置——阀门、加速器、压力传感器等,会在硅片上成批地腐蚀,进而被切断为集成电路碎片。这些装置,如果依照微电子电路完善地按规定尺寸进行制造,就能理想地监测污
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微小的机械装置——阀门、加速器、压力传感器等,会在硅片上成批地腐蚀,进而被切断为集成电路碎片。这些装置,如果依照微电子电路完善地按规定尺寸进行制造,就能理想地监测污染,辅佐医学研究,给机器人以触觉感,等等。
Tiny machines - valves, accelerators, pressure sensors, etc, are eroded in batches on silicon wafers, which are then cut into chips for integrated circuits. These devices, if manufactured in accordance with the precise dimensions of a microelectronic circuit, are ideal for monitoring contamination, assisting medical research, giving robots a tactile feel, and more.
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