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期刊论文
硅微电容式加速度计的闭环控制技术研究
硅微电容式加速度计的闭环控制技术研究
来源 :机械与电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Hotcoolman
【摘 要】
:
论述了闭环控制的原理,即通过静电力反馈来实现平衡控制。并通过计算保证了闭环控制系统的稳定性。可见,闭环工作下的电容式加速度计的稳定性、精度和线性度等都得到了提高。
【作 者】
:
李燕
王玲
李洲
刘军
【机 构】
:
河南农业大学机电工程学院
【出 处】
:
机械与电子
【发表日期】
:
2009年5期
【关键词】
:
电容式加速度计
闭环控制
线性度
带宽
capacitive accelerometer
closed loop control
linearity
b
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论述了闭环控制的原理,即通过静电力反馈来实现平衡控制。并通过计算保证了闭环控制系统的稳定性。可见,闭环工作下的电容式加速度计的稳定性、精度和线性度等都得到了提高。
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