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综述了蒙特卡罗方法模拟物理气相沉积薄膜生长的研究进展．特别对基底的表面形貌、结构缺陷、沉积温度等因素对薄膜生长影响的蒙特卡罗方法模拟的研究进展进行了分析和归纳．最后对蒙特卡罗方法模拟薄膜生长的研究进行了展望．
蒙特卡罗方法模拟PVD薄膜生长的研究进展（综述）
【摘 要】
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综述了蒙特卡罗方法模拟物理气相沉积薄膜生长的研究进展．特别对基底的表面形貌、结构缺陷、沉积温度等因素对薄膜生长影响的蒙特卡罗方法模拟的研究进展进行了分析和归纳．最后
【机 构】
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辽宁大学物理系沈阳市光电子功能器件与检测技术重点实验室
【出 处】
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辽宁大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2007年2期
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