AlN陶瓷与无氧铜的活性封接

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【摘要】

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采用Ag-Cu-Ti活性钎料对AlN陶瓷与无氧铜进行了钎焊.通过对焊接件气密性的测试、陶瓷/金属结合界面的微观分析以及界面化学反应的热力学计算,得出以下结论:Ag-Cu-Ti2.0钎料可

【作者】

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刘鑫张小勇陆艳杰方针正楚建新

【机构】

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北京有色金属研究总院

【出处】

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真空电子技术

【发表日期】

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2007年4期

【关键词】

：

Ag-Cu-Ti 活性钎焊微观分析

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采用Ag-Cu-Ti活性钎料对AlN陶瓷与无氧铜进行了钎焊.通过对焊接件气密性的测试、陶瓷/金属结合界面的微观分析以及界面化学反应的热力学计算,得出以下结论:Ag-Cu-Ti2.0钎料可以实现AlN与无氧铜的气密封接,漏气速率Q＜10×10-8 Pa·L/s;钎料与陶瓷界面存在一定厚度的化学反应区,反应产物主要是TiN.

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