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在热力学分析的基础上，计算了在Ｇａ（ＣＨ３）３－ＡｓＨ３－Ｈ２体系中在５００Ｋ－１２００Ｋ的温度范围内，可能的含砷及砷化物的形态和浓度。同时通过大量的模拟实验找出了去除尾气中砷的最好方法，还研制出用三级逆向喷淋法的治理设备，对尾气进行治理，治理后的尾气含砷量含量符合国家排放标准。
MOVPE生长Ga（CH3）3—AsH3—H2体系中砷的形态转化及砷的治理
【摘 要】
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在热力学分析的基础上，计算了在Ｇａ（ＣＨ３）３－ＡｓＨ３－Ｈ２体系中在５００Ｋ－１２００Ｋ的温度范围内，可能的含砷及砷化物的形态和浓度。同时通过大量的模拟实验找出了去除尾气中砷的最好方法，还研制出用三级逆向喷淋法的治理
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1997年2期
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