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通过IBAD技术制备了MoS2+Ag(Cu)复合膜,并利用XPS和ESR考察了复合膜的氧化情况。发现在RH为60%的大气环境下,Cu的掺入加速了MoS2的氧化,相反Ag的加入却使MoS2的氧化受到抑制;XPS发现MoS2+Cu复合膜中存在Mo^6+,ESR却并没有发现中间态Mo^5+;而XPS没有检测到MoS2+Ag膜中有Mo^6+,ESR却发现Mo^5+。这说明Mo^5+受化学环境影响较大。