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强流溅射源负离子出束实验研究
强流溅射源负离子出束实验研究
来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:myhome1202
【摘 要】
:
在离子源实验台架上,利用200型强流溅射离子源进行8种元素的负离子出束实验研究.这些负离子对应元素的电子亲合势大部分接近或小于零,负离子难以形成.实验中尝试使用不同的靶
【作 者】
:
王晓飞
包轶文
秦久昌
【机 构】
:
中国原子能科学研究院
【出 处】
:
原子能科学技术
【发表日期】
:
2004年3期
【关键词】
:
强流溅射源
负离子
束流强度
电子亲合势
Ion beams
Ion sources
Sputtering
Targets
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在离子源实验台架上,利用200型强流溅射离子源进行8种元素的负离子出束实验研究.这些负离子对应元素的电子亲合势大部分接近或小于零,负离子难以形成.实验中尝试使用不同的靶材料和辅助气体产生负离子,以提高负离子束的束流强度.
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