强流溅射源相关论文
简单介绍用球面电离器的多靶位强流溅射负离子源的使用情况。比较仔细叙述新的换靶机构和与之配套的电控系统。报导源的一些改进。......
在离子源实验台架上,利用200型强流溅射离子源进行8种元素的负离子出束实验研究.这些负离子对应元素的电子亲合势大部分接近或小于......