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研究了有衬底影响的类金刚石碳(DLC)膜硬度测定技术。采用H-D关系外推,Meyer Joensson-Hogmark公式计算(考虑ISE)等三种方法测定了DLC膜的“真实”硬度。结果表明,由Meyer科计算的薄膜硬度最可靠、简便。通过试验还发现DLC膜有约15%的弹性恢复,并认为DLC膜的硬度测定采用克努普压头更为恰当。