基于MEMS技术的光泵原子磁力仪发展与应用

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【摘要】

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【作者】

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张鹏陈洪娟桂永雷孙立凯崔洪亮

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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原子磁力仪磁传感器 MEMS集成灵敏度碱金属原子气室光泵浦拉莫尔频率

【基金项目】

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国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2015AA8112005)

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

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