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准分子光溅射法制备...
准分子光溅射法制备...
来源 :激光与红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wdxf365
【摘 要】
:
本文简要介绍准分子激光溅射法制备高温超导薄膜的实验技术。重点阐述了近年来由大量实验研究所揭示出的激光溅射及成膜过程的一些基本特点和规律。同时,对准分子激光制膜保
【作 者】
:
范永昌
字承武
【机 构】
:
华中理工大学激光技术国家实验室,华中理工大学激光技术国家实验室
【出 处】
:
激光与红外
【发表日期】
:
1991年4期
【关键词】
:
超导薄膜
高温
溅射法
准分子激光
laser sputtering
high temperature superconducting film
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本文简要介绍准分子激光溅射法制备高温超导薄膜的实验技术。重点阐述了近年来由大量实验研究所揭示出的激光溅射及成膜过程的一些基本特点和规律。同时,对准分子激光制膜保成份蒸镀这一独特优点的机制进行了深入的讨论。
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