精密测量仪器中微位移调整方法浅谈

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在精密光学测量仪器中,关键器件微位移调整的选型和装调往往是影响设备测量精度和整体稳定性的重要因素之一.本文结合以往实际工作,简略介绍了对于微位移调整分类和如何合理选型的一些体会,希望对同行在精密光学测量仪器的研发设计时有所帮助.
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