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圆形IDT结构声表面波滤波器的设计与实现
圆形IDT结构声表面波滤波器的设计与实现
来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fourseasons2002fox
【摘 要】
:
采用硅基AIN薄膜作为压电衬底,利用改进的δ函数模型对变迹加权圆形IDT结构进行建模仿真,根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图,并在实验室制作了中心频率为300MHz,带内插损8dB的SA
【作 者】
:
王代强
姚祖铭
陈雨青
杨发顺
龚红
刘桥
【机 构】
:
贵州大学人民武装学院,贵州大学理学院,贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳学院
【出 处】
:
电子元件与材料
【发表日期】
:
2013年4期
【关键词】
:
声表面波带通滤波器
变迹加权
圆形IDT结构
插入损耗
硅基AlN薄膜
Δ函数
SAW band-pass filter
apodized weighted
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采用硅基AIN薄膜作为压电衬底,利用改进的δ函数模型对变迹加权圆形IDT结构进行建模仿真,根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图,并在实验室制作了中心频率为300MHz,带内插损8dB的SAW带通滤波器样品。测试结果表明,其仿真结果与试验结果一致性较好。
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