【摘 要】
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通过x射线异常透射形貌 (XRT) ,化学腐蚀显微观察和电子显微技术 (TEM)研究了液封直拉 (LEC)法生长的半绝缘砷化镓 (SI GaAs)单晶中蜂窝状胞状结构 ,从晶体生长和冷却过程的
【机 构】
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河北工业大学材料学院信息功能材料研究所,河北工业大学材料学院信息功能材料研究所,河北工业大学材料学院信息功能材料研究所,河北工业大学材料学院信息功能材料研究所,中国信息产业部1413所 天津30013
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通过x射线异常透射形貌 (XRT) ,化学腐蚀显微观察和电子显微技术 (TEM)研究了液封直拉 (LEC)法生长的半绝缘砷化镓 (SI GaAs)单晶中蜂窝状胞状结构 ,从晶体生长和冷却过程的热应力、弹性形变引起位错的运动和反应考虑 ,分析了该结构的形成机理与过程 .认为这是由高密度位错 (EPD)运动和反应所形成的小角度晶界的集合群
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