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对平头压痕蠕变实验进行了有限元模拟分析,重点考虑了受压材料的蠕变损伤.基于等效应力控制的蠕变损伤方程,在完成了Abaqus的Creep用户子程序的基础上对单相半无限大材料和薄膜/基体的两相材料系统的平头压痕蠕变损伤响应进行了有限元模拟.结果表明,蠕变压痕速率与材料的损伤参量相关,也与压头大小以及薄膜厚度/压头直径之比有关.与无损伤材料一样,也可以通过压痕蠕变损伤实验来得到受压材料的蠕变损伤规律.