【摘 要】
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Ｘ射线三晶衍射由于同时采用了单色器和分析器，因而能区分样品中由完美晶体部分对Ｘ射线的动力学衍射和由缺陷部分引起的运动学散射，还可把晶体中晶格常数的变化和晶格取向缺陷区别
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Ｘ射线三晶衍射由于同时采用了单色器和分析器，因而能区分样品中由完美晶体部分对Ｘ射线的动力学衍射和由缺陷部分引起的运动学散射，还可把晶体中晶格常数的变化和晶格取向缺陷区别开，并可测定倒易点附近Ｘ射线散射强度的二维分布图。近来，Ｘ射线三晶衍射技术广泛应用于研究晶体的表面和界面粗糙度、表面损伤、晶体内的微缺陷以及精确确定外延膜的结构参数等。此外，还简要地介绍了Ｘ射线三晶衍射的技术、原理和应用。
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