【摘 要】
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本文对知名的集成电路工艺模拟软件ＳＳＵＰＲＥＭ４进行了较仔细的校验，用ＳＳＵＰＲＥＭ４模拟了氧化、扩散工艺，并同实验值进行了比较，模拟值和实验值的偏差在１０％以内，与集成电路器件模拟软件ＳＰＩＳＣＥＳ联用校验了ＳＳＵＰＲＥＭ４的全工序
【机 构】
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复旦大学电子工程系,上海先进半导体制造有限公司
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本文对知名的集成电路工艺模拟软件ＳＳＵＰＲＥＭ４进行了较仔细的校验，用ＳＳＵＰＲＥＭ４模拟了氧化、扩散工艺，并同实验值进行了比较，模拟值和实验值的偏差在１０％以内，与集成电路器件模拟软件ＳＰＩＳＣＥＳ联用校验了ＳＳＵＰＲＥＭ４的全工序模拟结果，校验结果有较大参考价值．
In this paper, the well-known integrated circuit technology simulation software SSUPREM4 was more carefully verified, with SSUPREM4 simulated oxidation and diffusion processes, and compared with the experimental values, the simulation and experimental values of the deviation of less than 10%, and integrated circuits Device simulation software S PISCES combined with the verification of the whole process of SSUPREM4 simulation results, the calibration results have a greater reference value.
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