【摘 要】
：
本文主要对基片内材料去除非均匀性的形成机理进行了深入的研究;首先分析了化学机械抛光（CMP）时抛光机运动参数对硅片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性、接触压
【机 构】
：
河南科技学院机电学院,大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
论文部分内容阅读
本文主要对基片内材料去除非均匀性的形成机理进行了深入的研究;首先分析了化学机械抛光（CMP）时抛光机运动参数对硅片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性、接触压力分布非均匀性及磨粒运动轨迹密度分布非均匀性的影响规律,然后进行了基片内材料去除非均匀性实验,通过实验得出了抛光机运动参数对基片表面材料去除非均匀性的影响;通过比较理论分析与实验结果,基片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性及接触压力分布非均匀性随转速的变化趋势与基片表面材料去除非均匀性的实验结果的曲线性质不匹配,而只有抛光液中的
其他文献
核心提示$$ 在中国，有些孩子是“小皇帝”“小公主”，一家人围着孩子转，捧在手里怕摔了，含在嘴里怕化了，爱已泛滥成灾。可是，有些孩子，小小年纪却已“累觉不爱”。他们或是难以承
结合家庭粪便和厨余垃圾的可利用性以及现场处理的针对性,本论文探讨了将两者混合厌氧消化,使其达到无害化、资源化的处理途径,对此展开了研究工作,主要包括了系统工艺的优化
二十世纪是人类社会经济、科技发展最为迅速的一个世纪。尤其是在四十年代末、二战后的相对和平时期里,科学技术有着突飞猛进的发展,同时也带动了世界经济的飞速发展。由于人
随着有机磷杀虫药(organophosphorous pesticide,OP)应用的日趋广泛,有机磷杀虫药急性中毒的病例也相应增多,但本病并发急性肺水肿尚未引起临床上应有的重视,其发生机制目前
石漠化引起区域生态恶化、土地丧失、水资源短缺、农村能源缺乏和区域贫困的发生。石漠化治理对于保障国家生态安全、落实西部大开发战略、缩小区域贫富差距、维护民族团结和
汽车工业的发展为人类社会的进步作出了巨大贡献,但同时它也消耗了巨大的能源并造成严重的环境污染。为了解决能源危机和环境污染问题,研制推广一种节能、无污染的汽车迫在眉
为研究界面裂纹动态应力强度因子在冲击荷载作用下的变化规律,利用双材料界面理论,推导出界面裂纹尖端的应力强度因子表达式。采用ANSYS有限元软件,对由不同材料组合而成的四
<正>常思东村老仙翁,是非不语乐萌萌。引渠水澈声嘎嘎,番茄菜韭乱青红。鸥鸭静游深竹里,借来食材缓养生。常有沙参和玉竹,不用把酒向东风。处暑时节到来,此时太阳到达黄经150
目的以显微鉴别方法对不同产地柴胡药材的质量优劣进行分析。方法通过制作蜡片,对柴胡木栓层层数、纤维群层数、油管分布和大小、木质部比例进行观察,并评价其质量优劣。结果