基于中心积分法的11维集成光波导芯片封装系统

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ks00459

【摘要】

：

研制了基于中心积分法的集成光波导芯片封装系统，该系统在空间11维上实现了光波导器件的位置调节，通过高精度对准和改进后的中心积分法快速准确地实现芯片对准。在单芯光纤-条

【作者】

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隋国荣陈抱雪周建忠傅长松矶守

【机构】

：

上海理工大学光学与电子信息学院,日本东京农工大学应用化学系

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2007年11期

【关键词】

：

中心积分法器件封装光波导芯片耦合损耗 center-integration algorithm device packaging waveguide ch

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目（No.60677023）,上海市科学技术发展基金资助项目（No.041111040）

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研制了基于中心积分法的集成光波导芯片封装系统，该系统在空间11维上实现了光波导器件的位置调节，通过高精度对准和改进后的中心积分法快速准确地实现芯片对准。在单芯光纤-条波导-单芯光纤系统的封装测试实验中，端面耦合损耗的平均值为0．1136dB，单次耦合损耗的最大值〈0．13dB，标准偏差〈0．02dB，单次耦合时间〈2min。在单芯光纤列阵-1×8波导分支耦合器-8芯光纤列阵的封装生产中，各通道插入损耗均〈10．5dB，均匀性指标〈0．4dB，单次耦合时间〈5min。数据证明，该系统已完全达到商业

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