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为了研究基片的表面状态对金刚石成核密度的影响，采用了抛光清洁的基片、对样品划痕、基片加热脱附等不同的表面处理方法，对样品表面进行预处理，得到了不同表面处理条件下的金刚石成核密度。尝试了在低真空（10－1Pa量级）条件下，去除表面的氧化硅及吸附活性的含碳原子，以提高金刚石的成被密度，得到了较理想的结果，成核密度为109／cm2。