论文部分内容阅读
本文以甲苯为工作气体,先用高频辉光放电等离子体CVD方法制备出类金刚石碳膜,研究了它的光吸收和红外增透性,以及在Si、Ge等红外元件上作为减反射膜的应用。
类金刚石碳膜作为红外元件减反射膜的研究
【摘 要】
：
本文以甲苯为工作气体,先用高频辉光放电等离子体CVD方法制备出类金刚石碳膜,研究了它的光吸收和红外增透性,以及在Si、Ge等红外元件上作为减反射膜的应用。
【机 构】
：
合肥工业大学应用物理系,合肥工业大学应用物理系合肥230009,合肥230009
【出 处】
：
半导体光电
【发表日期】
：
1991年2期
【基金项目】
：
机电部机械工业技术发展基金,编号:86J7720
其他文献
本文介绍了垂直腔表面发射(SE)注入激光器(LD)的最新进展;讨论了垂直腔 SELD 的结构参数设计准则以及相关的制作技术;最后,介绍了垂直腔SELD 的应用前景。
以研究铁锰结核表层（〈2mm）以及采自结核周围沉积物表层（0-7cm）中4个粒级锰质微结核为例，探讨了赤道太平洋北部沉积物中自生锰矿石的生成过程。展示了结核成分的不均一性。采自其
本文介绍了一种可见光激光器端面镜面保护方法。用电子束蒸发在可见光激光器的两个镜面上分别镀上0.75 λ/2和λ/2厚的 Al_2O_3钝化膜,并就镀膜对激光器性能的影响进行了测试
根据多源空间数据应用的需求,在分析已有数据融合模型的基础上,引入GIS技术,建立空间数据融合的基本模型,并介绍几大类数据融合方法及其在空间数据融合领域中的应用,最后分析讨论了空间数据融合技术的发展趋势。
始新世一渐新世（E—O）过渡时期，地球气候从温暖变为寒冷，甚至进入冰期，渐新世早期（约33．5Ma）的标志是海洋碳酸盐的氧同位素值有明显的快速正偏移（Miller等的Oi-1事件，1991），以及随着新生
概述了以 Hg_(1-x)Cd_xTe 体材料和双异质结构外延材料为衬底,采用平面工艺研制成两种不同结构的光伏二极管列阵与用 MOS 工艺制作的信号处理器互联而成的8×8长波红外焦
在世界大洋（包括太平洋）范围内，平顶山顶部大都由纤有孔虫石灰岩组成，含有相对稀少的海胆类、瓣鳃类以及其他大型生物的残留体。这些岩石经常发生不同程度的磷酸盐化，通常被铁锰结
电光学(Electro-Optics)是电学与光学交叉形成的一门新兴学科,它已成为光通信,光计算,激光技术等众多高科技领域的主要理论基础,并展示出其广阔的应用前景。本文系统地阐述了
本文研究用非外延硅单晶制造高灵敏度光敏三极管的方法。首先论述了两个困难:光开通现象和光电特性的非线性现象,然后查明了引起这两种现象的原因,并提出了对策,从而制得了3D
长江三角洲海岸带包括江苏的南部地区、上海和几乎浙江全境，面积约20万km^2，居住的人口超过1亿。这块由长江冲淤而成的土地，近年来创造了举世瞩目的发展奇迹，成为中国乃至全世界