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本文介绍了容栅传感器的工作原理及精度分析，重点讨论了容栅传感器刻划误差的分析计算方法．
容栅传感器刻划误差的分析计算
【摘 要】
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本文介绍了容栅传感器的工作原理及精度分析，重点讨论了容栅传感器刻划误差的分析计算方法．
【机 构】
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成都大学,成都精密测量工程公司
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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0年GJJS507.026期
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