【摘 要】
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提出了一种高精度、低成本的电容式压力传感器的测量方法。用RC振荡器将电容式传感元件的变化调制为时变频率信号，用SSP1492芯片测量该频率变化量，并送入C8051F021单片机，用高阶
【机 构】
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南京航空航天大学能源与动力学院,江苏广播电视大学信息工程系
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提出了一种高精度、低成本的电容式压力传感器的测量方法。用RC振荡器将电容式传感元件的变化调制为时变频率信号，用SSP1492芯片测量该频率变化量，并送入C8051F021单片机，用高阶多项式完成频率变化到压力变化的解算，实现了高精度压力测量。实验结果显示：该方法用于电容式压力传感器的测量精度优于0．02％FS。
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