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基体负偏压对膜层形貌与性能的影响
基体负偏压对膜层形貌与性能的影响
来源 :热加工工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xqdd520cn
【摘 要】
:
用多弧离子镀技术在40Cr基体上制备Ti0.33Al0.67N复合膜层;分析基体负偏压对膜层形貌、厚度、结合力及显微硬度等性能的影响.结果表明,基体负偏压参数设计范围内存在一个最佳
【作 者】
:
冯光光
刘崇林
卢龙
【机 构】
:
江苏科技大学材料学院,江苏镇江,212003淮海工学院机械工程学院,江苏连云港,222005;
【出 处】
:
热加工工艺
【发表日期】
:
2013年14期
【关键词】
:
多弧离子镀
离子渗氮
制备工艺
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用多弧离子镀技术在40Cr基体上制备Ti0.33Al0.67N复合膜层;分析基体负偏压对膜层形貌、厚度、结合力及显微硬度等性能的影响.结果表明,基体负偏压参数设计范围内存在一个最佳值,可获得最优性能的膜层.
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