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真空蒸镀
真空蒸镀
来源 :制造技术与机床 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gang_zai1314
【摘 要】
:
<正>真空蒸镀是将工件放入真空室内,并用一定的方法加热使镀膜材料蒸发或升华,飞至工件表面凝聚成膜。按加热方式及蒸发源,真空蒸镀有电阻加热蒸镀、电子束蒸镀、高频加热蒸
【出 处】
:
制造技术与机床
【发表日期】
:
2015年03期
【关键词】
:
真空蒸镀
高频加热
热蒸镀
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<正>真空蒸镀是将工件放入真空室内,并用一定的方法加热使镀膜材料蒸发或升华,飞至工件表面凝聚成膜。按加热方式及蒸发源,真空蒸镀有电阻加热蒸镀、电子束蒸镀、高频加热蒸镀、激光加热蒸镀等。
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