靶球4π搓动微型装置的研制

来源 :浙江大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hlp2009
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设计与研制了一种激光核聚变靶球的微型4π搓动装置,其整体外形尺为29mm×24mm×14mm,机芯尺寸为20mm×16mm×10mm,对φ200μm的靶微球搓动精度为,绕Z轴旋转角ψ的精度7.5°/每分度,绕Y轴旋转角θ的精度1.45°/每分度,它可方便灵活地进行靶球4π立体角的搓动来任意选择测试点,该装置不仅符合原子力显微镜(AFM)等表面分析仪器对靶微球表面光洁度与显微形貌的观察,测试的要求,
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