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本文阐述了双频激光干涉仪的结构和原理，并介绍用新型大规模逻辑器件ＣＰＬＤ完成双频激光干涉仪比较器单元电路的设计、仿真调试和制作。
用CPLD设计双频激光干涉仪比较器电路
【摘 要】
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本文阐述了双频激光干涉仪的结构和原理，并介绍用新型大规模逻辑器件ＣＰＬＤ完成双频激光干涉仪比较器单元电路的设计、仿真调试和制作。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1998年3期
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