离轴照明成像研究

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本文阐述了离轴照明提高曝光分辨率和增加焦深的原理,应用Hopkins理论研究了其成像特性。给出了两种离轴照明方式-四极照明和环形照明下的空间像分布,并和传统照明方式下的空间像分布作比较。计算结果说明,采用离轴照明使得曝光分辨率和焦深得到了很大的提高。
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