【摘 要】
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由于对大的、非球而的光学零件需求量日益增加,有必要有一台能在加工过程中精确测量光学零件相位误差的干涉仪。为了满足这种需要,我们研制了一台相移红外干涉仪。本文介绍了
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由于对大的、非球而的光学零件需求量日益增加,有必要有一台能在加工过程中精确测量光学零件相位误差的干涉仪。为了满足这种需要,我们研制了一台相移红外干涉仪。本文介绍了这台干涉仪头部的设计。
Due to the increasing demand for large, non-spherical optical components, it is necessary to have an interferometer that accurately measures the phase error of optical components during processing. To meet this need, we developed a phase-shift infrared interferometer. This article describes the design of this interferometer head.
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