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提高膜厚监控精度的一种途径刘志宏，朱丹，朱自强（成都中国测试技术研究院无损检测室）（成都电子科技大学光纤通信国家重点实验室）（四川大学光电科学技术系）０引言在光学薄膜的制备过程中，通常用光电转换器件将透过监控片的单色调制光强信号线性地转换成电信号。随...更多还原
提高膜厚监控精度的一种途径
【摘 要】
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提高膜厚监控精度的一种途径刘志宏，朱丹，朱自强（成都中国测试技术研究院无损检测室）（成都电子科技大学光纤通信国家重点实验室）（四川大学光电科学技术系）０引言在光学薄膜的制备过程中
【机 构】
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成都中国测试技术研究院无损检测室,成都电子科技大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年1期
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