Monte Carlo方法计算薄膜厚度测定背散射常数C（E0）

来源 :山东工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ZWCSS

【摘要】

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应用蒙特卡罗方法模拟5keV以下低能电子在Al,Cu,Ag,Au薄膜中的散射，模型应用Mott散射截面和Joy方法修正的Bethe方程描述和计算能电子在固体中弹性和非弹性散，计算了薄膜背散射

【作者】

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谭震宇何延才

【机构】

：

山东大学电力工程学院,中国科学院上海硅酸盐研究所

【出处】

：

山东工业大学学报

【发表日期】

：

2000年6期

【关键词】

：

蒙特卡罗方法电子束薄膜背散射常数厚度 Monte-Carlo method Electron beam /Thin film Backscatter

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应用蒙特卡罗方法模拟5keV以下低能电子在Al,Cu,Ag,Au薄膜中的散射，模型应用Mott散射截面和Joy方法修正的Bethe方程描述和计算能电子在固体中弹性和非弹性散，计算了薄膜背散射系数η随薄膜厚度D的变化，获得不同能量下的η－D关系并给出相应线性区Dmax分布，分析了η－D曲线初始线性区在低能时及随原子序数的变化，统计并应用最小二乘法计算得E0为3，4，5keV下的背散射常数C（E0）以测定超薄膜，给出一个E0从几keV到几十keV能量范围计算背散射常数的经验公式，由此计算Al,Cu,Au超薄膜

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