【摘 要】
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紫外探测器在火灾预警、导弹跟踪以及紫外线杀菌消毒的剂量检测方面有着很重要的作用,与人类生活息息相关.随着探测系统集成化的发展,对探测器的尺寸、能耗等方面的要求越来越严格,需要外加电源工作的传统探测器已经不能满足这样的要求.于是本文提出了一种基于NiO/GaN p-n结的紫外探测器.利用磁控溅射的方法,在高质量的n-GaN膜上(由金属有机化学气相沉积生长在蓝宝石衬底上)沉积一层p-NiO,构建了NiO/GaN p-n结,在±0.5 V下显示出明显的二极管整流特性.利用结区产生的内建电场,器件可以在没有外加偏
【机 构】
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浙江理工大学物理系,金华紫芯科技有限公司
【基金项目】
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浙江省自然科学基金(批准号:LY20F040005),浙江理工大学科研启动基金(批准号:20062224-Y)资助的课题。
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紫外探测器在火灾预警、导弹跟踪以及紫外线杀菌消毒的剂量检测方面有着很重要的作用,与人类生活息息相关.随着探测系统集成化的发展,对探测器的尺寸、能耗等方面的要求越来越严格,需要外加电源工作的传统探测器已经不能满足这样的要求.于是本文提出了一种基于NiO/GaN p-n结的紫外探测器.利用磁控溅射的方法,在高质量的n-GaN膜上(由金属有机化学气相沉积生长在蓝宝石衬底上)沉积一层p-NiO,构建了NiO/GaN p-n结,在±0.5 V下显示出明显的二极管整流特性.利用结区产生的内建电场,器件可以在没有外加偏
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