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期刊论文
低能离子束在薄膜淀积中的应用
低能离子束在薄膜淀积中的应用
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jasonlau999
【摘 要】
:
本文介绍利用已建成的双束低能离子束薄膜淀积系统,制备Si、Ge、GaN低温外延膜,Si/CoSi_2/Si多层结构膜,以及金刚石多晶膜。
【作 者】
:
任治璋
王向明
【机 构】
:
中国科学院半导体所,中国科学院半导体所北京100083,北京100083,北京100083
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1991年1期
【关键词】
:
低能离子束
薄膜淀积
薄膜
SI
Ge
Low energy ion beam
Thin film deposition.
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助
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本文介绍利用已建成的双束低能离子束薄膜淀积系统,制备Si、Ge、GaN低温外延膜,Si/CoSi_2/Si多层结构膜,以及金刚石多晶膜。
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