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期刊论文
控制掩模光栅微形变的方法
控制掩模光栅微形变的方法
来源 :西安电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaobudian1980
【摘 要】
:
提出了用外力控制掩模光栅微小变形方法.用理论分析和有限元计算相结合的方法分析在外力作用下的掩模光栅微小变形及其误差,并对实际结构模型进行实验验证,选定最佳的设计方
【作 者】
:
李连进
王明贤
【机 构】
:
天津理工学院机械工程系,天津理工学院职业技术学院
【出 处】
:
西安电子科技大学学报
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
掩模光栅
微形变
X射线
压力
半导体芯片
光刻
mask
X-ray
distortion
pressure
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提出了用外力控制掩模光栅微小变形方法.用理论分析和有限元计算相结合的方法分析在外力作用下的掩模光栅微小变形及其误差,并对实际结构模型进行实验验证,选定最佳的设计方案和参数.
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