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本文叙述了在国产离子注入机中新研制的JJG高精度均匀性监测仪。阐述了该仪器的工作原理、技术特点及性能指标。
JJG高精度均匀性监测仪
【摘 要】
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本文叙述了在国产离子注入机中新研制的JJG高精度均匀性监测仪。阐述了该仪器的工作原理、技术特点及性能指标。
【机 构】
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机械电子工业部第48研究所,厦门华侨电子有限公司
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1990年4期
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