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利用扫描透射电子显微镜、Ｘ射线衍射和Ｘ射线光电子能谱检测了锑化镓晶片表面氧化层的成分和结构，研究了锑化镓材料表面氧化物的形成过程。
锑化镓材料表面氧化机理的研究
【摘 要】
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利用扫描透射电子显微镜、Ｘ射线衍射和Ｘ射线光电子能谱检测了锑化镓晶片表面氧化层的成分和结构，研究了锑化镓材料表面氧化物的形成过程。
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1996年4期
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