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介绍了一种利用辉光放电产生冷等离子体进行硅粉纯化的廉价价太阳级硅制备系统，运用流体力学和低温等离子体物理学的原理对该系统中的气体流动、电场分布以及硅粉受力进行了详细的分析，建立了硅粉在该系统的运动模型，并且对系统内硅粉运动速度进行了讨论。提出了优化冶金效果的措施。
一种新型廉价太阳级硅制备技术
【摘 要】
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介绍了一种利用辉光放电产生冷等离子体进行硅粉纯化的廉价价太阳级硅制备系统，运用流体力学和低温等离子体物理学的原理对该系统中的气体流动、电场分布以及硅粉受力进行了详
【机 构】
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华中理工大学固体电子学系
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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1996年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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