论文部分内容阅读
本文研究在电压阶梯函数的驱动下,微电子机械系统含有阻尼项与不含阻尼项时的动态响应.对于受非线性弹性力作用的无阻尼静电开关系统,证明当电压低于临界值时,系统存在停滞时间、停滞位移;当电压高于临界值时,开关系统将在有限时间发生短路.对于含阻尼项的系统,稳定的开关电压是有限值,此时系统的位移将接近初始驱动差距的1/3.进一步估计静电开关短路发生的时间.