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通过低温（90℃）旋转喷雾镀覆方法成功地将尖晶石NiZnCo铁氧体颗粒薄膜沉积在外加2.38×10^4A/m偏置场的玻璃衬底上。制备的薄膜有1.27×10^2Ω·cm高的电阻率,2.78×10^5A/m大的饱和磁化强度和692.52A/m低的矫顽力。由弱交变磁场作用下磁畴转动磁化强度的进动方程,建立了铁氧体膜高频等效磁导率的计算模型。在50MHz～5GHz频率范围通过短路微带线法测量了薄膜的复数磁导率。薄膜的复磁导率的实部μ′在300MHz处高达80.9,而薄膜的共