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简要地介绍了以白光干涉理论为基础 ,利用相移干涉法进行表面三维轮廓测量的原理与系统的构成 ,重点讨论了用计算机实现用白光相移干涉法测量表面三维轮廓的算法和数据处理的过程
用相移干涉法测量表面三维轮廓的研究
【摘 要】
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简要地介绍了以白光干涉理论为基础 ,利用相移干涉法进行表面三维轮廓测量的原理与系统的构成 ,重点讨论了用计算机实现用白光相移干涉法测量表面三维轮廓的算法和数据处理的过程
【机 构】
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哈尔滨理工大学机械动力学院
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2001年08期
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