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介绍了国内外化学气相沉积技术的研究进展，对化学气相沉积层的类型、性能和应用进行了详细的介绍，并展望了化学气相沉积法的发展趋势。
化学气相沉积层的技术和应用
【摘 要】
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介绍了国内外化学气相沉积技术的研究进展，对化学气相沉积层的类型、性能和应用进行了详细的介绍，并展望了化学气相沉积法的发展趋势。
【机 构】
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昆明冶金研究院金属材料研究室
【出 处】
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稀有金属与硬质合金
【发表日期】
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1999年1期
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