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化学气相沉积层的技术和应用
化学气相沉积层的技术和应用
来源 :稀有金属与硬质合金 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kmyzkmyz
【摘 要】
:
介绍了国内外化学气相沉积技术的研究进展,对化学气相沉积层的类型、性能和应用进行了详细的介绍,并展望了化学气相沉积法的发展趋势。
【作 者】
:
阎洪
【机 构】
:
昆明冶金研究院金属材料研究室
【出 处】
:
稀有金属与硬质合金
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
化学气相沉积层
技术
应用
表面处理
CVD
chemical vapour deposition
technology
application
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介绍了国内外化学气相沉积技术的研究进展,对化学气相沉积层的类型、性能和应用进行了详细的介绍,并展望了化学气相沉积法的发展趋势。
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