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本文介绍卫微波电子回旋共振等离子体气相沉积装置的磁场设计原理和计算方法，给出了几种电流强度、线圈间距等主要参量下的磁场形态。
ECR等离子体气相沉积装置磁场形态的计算
【摘 要】
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本文介绍卫微波电子回旋共振等离子体气相沉积装置的磁场设计原理和计算方法，给出了几种电流强度、线圈间距等主要参量下的磁场形态。
【机 构】
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苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料实验室,苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料实验室
【出 处】
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苏州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1996年2期
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