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0前言 一般讨论运动控制的文章都比较偏重于工具机的范畴，它牵涉到比较多的运动轨迹规划及控制理论，但由于近年来半导体产业及光电产业的蓬勃发展，生产设备的需求也日趋增加。传统的生产设备大多归类在工厂自动化（FA）的范围，大多使用PLC控制器来控制生产的流程，然而这些应用多半不符合现今要求高产能且高复杂度的半导体设备及光电产业设备，因为轴数的增加以及控制方式日益复杂化，设备所要求的动作不再是简单的开关控制或是过程控制，通常用到数据库、网络连结以及影像检测系统，而且每次的动作都是根据外在变量来规划，