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采用阳极氧化法制取氧化钛薄膜,研究了电压大小与薄膜颜色之间的关系、电压加载方式对薄膜表面的影响以及不同磷酸浓度对成膜过程的影响。结果表明:不同氧化电压下制备出不同颜色的氧化膜,电压大小是决定氧化膜颜色的主要因素;采用缓加渐进方式加压有利于形成无斑点、表面均匀的薄膜;阻挡层电阻和厚度随磷酸浓度的增加而减小。